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三氯氫硅粉真空耙式干燥機
更新時間:2024-07-05 點擊:99
三氯氫硅生產(chǎn)過程中,原料硅粉中往往含有鋁、鐵、鈣等雜質(zhì),在與氯化氫氣體高溫反應時生成氯化鋁、氯化鐵、氯化鈣等金屬氯化物,三氯氫硅廢渣的處理系統(tǒng),包括真空耙式干燥機、冷凝器、真空泵、收集罐、酸循環(huán)泵、酸吸收罐和合成液儲罐,真空耙式干燥機的抽真空氣相出口依次連接水冷凝器、冷凝液出口連接收集罐,液相出口和水冷凝器的冷凝液出口連接合成液儲罐,真空耙式干燥機的蒸發(fā)氣相出口連接酸吸收罐,酸吸收罐液相出口再通過酸循環(huán)泵分別連接酸吸收罐液相入口和淋洗。充分回收廢渣中的有用材料,提高經(jīng)濟效益,減少環(huán)境污染。
(I)真空耙式干燥機系臥式間歇傳導干燥設備,借助于中心軸上的耙葉,定時間隔正反向轉(zhuǎn)動,在耙葉的不斷攪拌下,物料與筒壁接觸時,表面不斷更新,且受到導熱油間接加熱,使物料內(nèi)濕份不斷汽化,同時被真空泵及時抽出。在真空度的作用下,濕份沸點降低,物料表面濕份蒸汽壓遠大于機內(nèi)蒸發(fā)空間的濕份蒸汽壓有利于其內(nèi)部濕份蒸發(fā),促進了干燥,從而達到干燥的目的。
(2)由于金屬氧化物AlCl3的特殊性質(zhì),在標準大氣壓下,177.8°C升華。同理在真空狀態(tài)下,隨著AlCl3飽和蒸汽壓的降低,較低溫度下就有升華的可能,這樣就很容易導致后序管道中AlCl3氣體的凝固,堵塞管道。為滿足工藝要求,往往在前期進料時,加入一定量的絡合劑,該絡合劑使得物料被抽真空時,金屬氯化鋁不易被蒸出,待在真空度下氯硅烷被蒸出后,再升溫蒸出氯化鋁,減少環(huán)境污染。
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